本文標(biāo)題：" 掃描電子顯微鏡簡(jiǎn)介-放大倍數(shù)等于顯像管上掃描幅度"

掃描電子顯微鏡簡(jiǎn)介-放大倍數(shù)等于顯像管上掃描幅度

電子光束發(fā)射出的電子束斑經(jīng)聚光鏡縮小到幾十埃后﹐用偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)使電子束在試樣表面上掃描。電子束與試樣表面作用后﹐

激發(fā)出次級(jí)電子﹐經(jīng)探測(cè)器收集﹐放大器放大﹐調(diào)制一個(gè)同步掃描的顯像管亮度﹐形成圖像。

凹凸不平的試樣表面各處與入射電子束有不同的夾角。夾角愈大﹐電子束激發(fā)出的次級(jí)電子愈少﹐

在像上就顯得愈暗﹐反之就顯得愈亮。由此產(chǎn)生黑白分明﹑有立體感的圖像。像的放大倍數(shù)等于顯像管上掃描幅度與試樣上電子束掃描幅度之比。

掃描電鏡的分辨本領(lǐng)略大于電子束斑直徑。目前﹐掃描電鏡的分辨本領(lǐng)一般為 60～100埃。在掃描電鏡中﹐

除次級(jí)電子外﹐還可用其他信號(hào)成像。背散射電子 back scattering, (在試樣內(nèi)經(jīng)多次散射再?gòu)脑嚇颖砻娲┏龅娜肷潆娮?

所成的像可用來(lái)識(shí)別原子序數(shù)的差異。標(biāo)識(shí) Ｘ射線(xiàn)所成的像可提供元素分布情況。電子束誘導(dǎo)電流和陰極熒光可用來(lái)檢驗(yàn)半導(dǎo)體器件。

電子溝道圖可用來(lái)測(cè)定晶體的取向。

在掃描電鏡的發(fā)展前期曾同時(shí)發(fā)展起電子探測(cè)束﹐它是一種微區(qū)成分分析裝置。其原理是利用微小的電子束斑激發(fā)試樣的標(biāo)識(shí) Ｘ射線(xiàn)﹐

經(jīng)晶體分光后再測(cè)定試樣的成分。后來(lái)﹐掃描電鏡也大都帶有微區(qū)成分分析的裝置。現(xiàn)在的商品掃描電鏡中﹐有一類(lèi)是側(cè)重于作微區(qū)成分分析用的﹐

這類(lèi)掃描電鏡已逐漸取代了單獨(dú)進(jìn)行微區(qū)成分分析的電子探測(cè)束。掃描電鏡中進(jìn)行 X 射線(xiàn)微區(qū)成分分析的裝置有兩類(lèi)﹕一類(lèi)是 X 射線(xiàn)波譜分析儀﹐

它與過(guò)去的電子探測(cè)束相似﹐特點(diǎn)是藉助布拉格定律﹐利用晶體分光﹔另一類(lèi)是 X 射線(xiàn)能譜分析儀﹐它利用鋰漂移硅探測(cè)器進(jìn)行能量分光﹐

探測(cè)器中產(chǎn)生的電子-空穴對(duì)與入射光子能量成正比。波譜儀的波長(zhǎng)分辨率高﹐能探測(cè)原子序數(shù) ≧5 的所有元素﹐

不足之處是一個(gè)譜儀一次只能測(cè)定一種標(biāo)識(shí) X 射線(xiàn)。能譜儀則可同時(shí)測(cè)定試樣中發(fā)出的全部能量高于數(shù)百電子伏的標(biāo)識(shí) X 射線(xiàn)﹐

但能量分辨率差﹐目前只能分析原子序數(shù) ≧11 的元素。

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